�F·������|��

�������������|�۞��(gu��)��(n��i)�������F·������|�ۺУ���SMC��(f��)�ϲ�������

    �������ƒ�(y��u)�c(di��n):
����1���h(hu��n)���Gɫ
����SMC��(f��)�ϲ�����һ�N�����u�أ��o(w��)��(du��)���w�к����|(zh��)����һ�N���͵ĭh(hu��n)�����ϣ��M��δ��(l��i)�Gɫ�l(f��)չ��Ҫ��
����2���ͻ��W(xu��)���g
����SMC��(f��)�ϲ��Ͼ��кܺõ����ᡢϡ�A���}���ЙC(j��)�܄�����ˮ�ȸ��g�����ԣ������ٲ��ϲ����ᡢ�׸��g��
����3���p�|(zh��)�ߏ�(qi��ng)
�����ȏ�(qi��ng)�Ⱥͱ�ģ���Ǻ������ϳ��d������ָ��(bi��o)֮һ��SMC��(f��)�ϲ��ϵı�ģ���c䓲��ஔ(d��ng)������ȏ�(qi��ng)�ȿ��_(d��)��䓲ĵ�4����
����4��������ȼ���ܺ�
����SMC��(f��)�ϲ��Ϸ�����ȼ����(j��ng)��(gu��)�ҙ�(qu��n)���C(j��)��(g��u)�z�y(c��)ԓ���Ϟ�B��(j��)��ȼ�Բ���
����5���͟����ܺ�
����SMC��(f��)�ϲ����ڐ��ӵĸߜحh(hu��n)���У�������Ȼ�ܱ������������Ե��������乤���ض�������60�ȵ�150�ȣ���׃�Μض���280�����ϡ�
����6���ጧ(d��o)�ʵ͡���Ûϵ��(sh��)С
�������Мز�r(sh��)���a(ch��n)���ğᑪ(y��ng)���Ƚ���С�Ķ࣬�������ܺá�
����7����(y��u)���Ŀ��ϻ�����
����SMC��(f��)�ϲ���������(y��u)��Ŀ��ϻ����ܡ���(j��ng)�^(gu��)���ϻ����ܜy(c��)ԇ���������������ϻ���Ȟ�20��С��50μm��
����8��ʹ�É����L(zh��ng) SMC��(f��)�ϲ���ʹ�Úvʷ�����C����ʹ�É���������30����
����9�����a(ch��n)Ч�ʸ� �������ڶ̣����ڌ�(sh��)�F(xi��n)�C(j��)е�����Ԅ�(d��ng)����